水環式真空泵需要用液體作為作業的介質。工作液體在某一溫度下有對應的飽和蒸汽壓。當吸氣區域的真空壓力越接近工作液體的飽和蒸汽壓時，該區域的液環內表面會氣化產生大批的氣泡。當吸入區域的壓力達成工作液的飽和蒸汽壓時就會達到沸騰狀，吸氣腔內則全部充滿了工作液的蒸汽，此時泵對外的吸氣能力接近于零，而此時泵的汽蝕現象也是很嚴重的。

　　在泵發生氣蝕時，氣泡在低壓區陸續產生。隨著水環式真空泵葉輪的轉動，夾在相鄰兩個葉片之間的氣泡進入到壓縮與排出區域時，又會驟然破裂。氣泡破裂形成的空穴使得周圍的液體高速流向空穴內而形成局部高頻的水錘。伴隨劇烈的水擊就會產生噪聲和振動。以至于可以聽到像爆豆似的劈劈啪啪的動靜。

　　假設上述氣泡在金屬表面上破裂，金屬表面將遭到連續劇烈的水擊后出現麻點，金屬晶粒松動并掉落而成蜂窩狀，甚至穿孔。

　　水環式真空泵的氣蝕損壞和離心式水泵的氣蝕損壞原理是一樣的，都是在氣泡發生和破裂的部位，金屬表面出現點蝕現象，嚴重的會出現蜂窩狀損壞。如果真空泵葉輪在氣蝕部位有較大的殘余壓力，還會致使葉輪發生裂紋。氣蝕損壞除機械效果外，還伴隨有電解、化學腐蝕等多種效果。實際損壞情況表明，泵過流部件氣蝕損壞的部位恰是氣泡破裂的部位。
　　液環真空泵在氣蝕狀態下長時間工作，會造成泵的噪聲、振動變大，乃至對泵造成損壞，因而應盡量防止水環式真空泵在氣蝕狀態下工作，可經過以下措施來防止氣蝕的發生。
　　在液環真空泵工作壓力點為固定值的前提下，降低工作液的溫度后作業液的飽和蒸氣壓會隨著溫度的降低而降低，當工作液的飽和蒸氣壓低于泵的工作壓力一定程度時就可以達到避免氣蝕的效果。如果吸入氣體溫度過高，氣體在與泵內液體接觸時，壓縮熱以及氣體本身的熱量都會傳遞到液體中，從而使液環溫度升高，也就是使泵腔內液體的飽和蒸汽壓升高。相反，降低吸入氣體溫度可以降低液環溫度，從而降低泵腔內液體的飽和蒸汽壓。同理，當吸入的氣體是飽和蒸汽時要比是吸入干空氣時要更容易產生氣蝕。
　　工作液作為水環式真空泵的工作介質，同時也能帶走泵內氣體壓縮產生的熱量起到冷卻作用。充足的工作液供液量可以降低工作液的溫升，較低的液環溫度就有較低的飽和蒸氣壓，就能避開氣蝕產生的條件。所以當設計工作液為閉環的機組時為保障充足的供液量，工作液管道的長度不能太長、尺寸不能太小，選擇冷卻器的管阻也不能太大。工作液管道堵塞時也要及時疏通清洗。